ASML沉闷了！公司掀桌子了！字据媒体报说念足球注册人口，10月13日，佳能公司认真推出5纳米芯片压印机，这样的压印机可以坐褥5纳米芯片，往常致使可以坐褥2纳米芯片，这下ASML遭逢大费劲了。

本次权益分派股权登记日为：2023年06月19日，除权除息日为：2023年06月20日。

一、纳米压印机平替EUV光刻机近在目下

皇冠hg86a

这次佳能公司推出FPA-1200NZ2C纳米压印半导体制造斥地，这样的压印斥地旨趣上跟EUV光刻机不相同，芯片加工经由比ASML的EUV光刻机愈加约略，而且跟着往常掩模时候的改良，这款压印芯片斥地还可以坐褥2nm芯片。

纳米压印斥地实施电路图案转变，这是最热切的半导体制造工艺。据佳能先容，传统的光刻斥地通过将电路图案投射到涂有抗蚀剂的晶圆上，而新家具通过在晶圆上的抗蚀剂上压印有电路图案的掩模来完毕这少许，就像邮票相同。由于其电路图案转变经由不经过光学机构，因此可以在晶圆上赤诚地再现掩模上的细致电路图案。

据先容，佳能的纳米压印光刻时候可完毕最小线宽14nm的图案化，止境于坐褥目前开头进的逻辑半导体所需的5nm节点。此外，跟着掩模时候的进一步改良，纳米压印光刻有望完毕最小线宽为10nm的电路图案，止境于2nm节点。

而且更让ASML沉闷的事情是，这款佳能推出的纳米压印工艺斥地，联系于ASML的光刻机芯片坐褥来说，未必裁减40%的制形老本和90%的电量。

然而目前来说，ASML可能还有喘气之机，佳能这款芯片坐褥斥地产量低，而且目前还在完善工艺，展望2025年量产，这样一来，ASML可能还有一两年时代好快卖EUV光刻机了，淌若目前还不卖，到佳能芯片坐褥斥地大王人坐褥的时候，ASML公司的EUV可能就卖不动了。

天然了，关于我国来说，ASML的EUV不卖，揣度佳能这款斥地卖的可能性也不大，我国目前照旧要依靠自主改进，依靠我方搞出来先进制程EUV光刻机，或者是光刻厂，这样在往常才不会被别东说念主顺心卡住脖子了。而这样一来，目前佳能5纳米芯片压印坐褥斥地出来，就够让ASML痛苦了，淌若往常我国光刻机也冲破了，那么ASML揣度就更卖不出去了，那可能就愈加欲哭无泪了。

二、纳米压印时候海外上的推行应用

目前，纳米压印时候照旧在推行芯片制造中进应用用。

近日讯息称，韩国的SK海力士从佳能引进了纳米压印斥地，筹办在2025年前后，驱动量产3D NAND闪存，并在测试截止很好。

“与EUV比较，纳米压印时候形成图案的摆脱度较低，因此展望将优先用于坐褥督察一定图案的NAND型闪存。”SK海力士驱动采购斥地亦然因为这个原因。淌若纳米压印斥地完毕商用化，以SK海力士为首的NAND闪存企业将未必进步从200层驱动的工序难度越来越高的3D NAND闪存鸿沟的坐褥截止。

据称佳能纳米压印斥地的时候成见可以，套刻精度达到了2.4nm/3.2nm，每小时可制造100片以上晶圆，基本达到了3D NAND大范围坐褥的水平。

三、纳米压印时候国产发达情况

纳米压印时候一直是国产芯片斥地企业追踪的热点时候之一，在此鸿沟，目前主要有两大公司值得稀零柔顺：苏大维格和天仁微纳。

近日，苏大维格公开示意：纳米压印光刻鸿沟，公司斥田主要为私用，对外售售金额与直写光刻机比较较小。公司已柔顺到纳米压印光刻在集成电路和芯片制造鸿沟具备替代传统光刻的应用后劲，并在积极布局。

那么，纳米压印时候目前发达若何呢？苏大维格的夏珍先容：“目前基于纳米压印时候的斥地还没量产，处于量产评价阶段，但从实验室的角度来看，照旧完毕了10+nm，往常将进一步拓展至5nm。”

另外值得柔顺的是深得华为哈勃投资醉心的天仁微纳。

它设置于2015年，是一家微纳加工斥地和赓续决议提供商，公司专注于纳米加工鸿沟，尤其是纳米压印时候。

目前天仁微纳照旧研发出了多款高精度紫外纳米压印斥地。据官网辛劳涌现，他们的纳米压印斥地，照旧可以在150／300mm基底面积上完毕高精度（优于10nm ），也说是说推行精度照旧达到了10nm级别。

而目前这些斥地，也用于DOE、AR／VR衍射光波导（包括斜齿光栅）、线光栅偏振、超透镜、生物芯片、LED、微透镜阵列等应用鸿沟的量产。

天然说，目前这种斥地，并没灵验于宇宙最为练习的逻辑芯片、存储芯片等，但信服也不太远了。

从苏大维格和天仁微纳来看，目前国产在纳米压印时候上是有一定的时候储备的，并非一派空缺，况兼在海外上也算走在前线了。国产纳米压印时候全面情况，可参看飙叔小文：深度分析！“纳米压印”能否替代传统光刻机，完毕弯说念超车？实验室已完毕10+nm ！

因此，纳米压印时候的降生为半导体制造鸿沟带来了新的念念路和要领。尽管其仍需进一步探索和推行，但其有望完毕对传统光刻时候的替代，进一步鼓励了半导体制造业的改进发展。

飙叔感谢您花时代柔顺与共享，感谢在我的东说念主生说念路中多了这样多的志同说念合的一又友，使我的生存变得不再孤独，不再败兴。